无论是干式真空泵还是其他机器，都是需要定期进行清扫的，毕竟一件物品再好，用的时间一长也是需要打扫下的，使其干净如初，也避免长期不打扫会因外在因素导致故障。而对于干式真空泵的吹扫方式有三种，采用氮气、水蒸气、空气等多种介质，其中氮气是吹扫作业中较为常用的一种，那为何对比其他介质，氮气是更常用的呢？
1.氮气是一种较为常见的惰性气体，在没有一定的温度、压力或者是催化剂等辅助条件下，很难与外界发生反应。因此在干式真空泵系统清洗过程中，利用氮气吹扫，更为安全可靠。这一点上，也被广泛用于化工企业的管道清洁过程。
2.氮气的吸附热小，吸附于物体表面的时间短。也就是说当氮气吸附于干式真空系统泵的器壁表面时，将会很容易被抽走。真空系统清洗中的氮气吹扫正式利用了它的这个特性。举个例子，在真空镀膜中，用干燥氮气吹扫清洗过真空系统后，氮分子会首先吸附于真空系统的器壁。由于器壁表面的吸附位是一定的，被氮分子沾满后，其他的分子如水分子等就会减少。因而真空系统的整个抽气时间就会大大减少。
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