滑阀真空泵应用要点和噪音解决方法
滑阀式真空泵与旋片式真空泵一样可单独使用,同时也可作为扩散泵、油增压泵、罗茨真空泵等的前级泵使用,与旋片泵相比滑阀泵更为耐用,在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、分子蒸馏、航空模拟实验的领域使用较多。但在遇含水蒸气、粉尘等介质环境,需加装过滤装置,也无法用于易燃易爆气体环境以及压缩输送气体。同时受限于油封式机械真空泵的特点,在一些清洁环境领域,如半导体、石化等,适用性不及一些干式真空泵。
机械撞击噪声是滑阀泵噪声的主要成分。滑阀泵在正常运转过程中,滑阀与泵体内壁(进气侧的大、小缸交接处)会发生机械撞击而产生强烈的机械撞击噪声。影响机械撞击噪声的因素:泵体与滑阀环之间的间隙、偏心轮与滑阀环之间的间隙、泵轴心与泵体大缸中心的偏移量等。在设计上通常会调整撞击部位的间隙,减轻甚至消灭撞击,从而降低滑阀泵的机械撞击噪声。
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